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產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品名稱：
Luxtron熒光光纖測(cè)溫儀
描述：m920 Luxtron熒光光纖測(cè)溫儀包括四通道 m924 和兩通道 m922 半導(dǎo)體模塊，設(shè)計(jì)用于蝕刻機(jī)和晶圓廠設(shè)備對(duì)靜電卡盤，真空腔室和其他設(shè)備的溫度進(jìn)行監(jiān)控。訪問次數(shù)： 4533更新時(shí)間： 2025-04-09
產(chǎn)品介紹
詳細(xì)說明
2 通道或 4 通道可選
模塊，探頭、通道可靈活組合
可靠的設(shè)計(jì)- 已安裝上萬(wàn)套 Luxtron 系統(tǒng)
可為 OEM 應(yīng)用訂制探頭
探頭適用于所有電磁干擾環(huán)境：等離子體、射頻、微波、磁性、高壓
可選配金屬外殼
基于現(xiàn)場(chǎng)可靠性驗(yàn)證和豐富的技術(shù)應(yīng)用支撐的新型高性能光纖熒光溫度傳感解決方案
LumaSense 擁有超過40年的將光纖溫度解決方案集成到具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用中的經(jīng)驗(yàn). 已經(jīng)安裝了數(shù)千個(gè)具有可靠性能的 Luxtron OEM 模塊.
靈活的探頭混搭設(shè)計(jì)
m920 系列模塊和 LumaSense 探頭相互之間可以任意匹配。 任何 m920 系列模塊都可以與任何通道上的任何探頭一起使用，而無需校準(zhǔn). m920 系列內(nèi)置了與LumaSense 探頭匹配的校準(zhǔn)表，可進(jìn)行高精度測(cè)量.
輕松集成到OEM設(shè)備
m920 系列包含兩塊線路板。主板包含光纖熒光測(cè)溫度通道，數(shù)字輸出 (RS-232 ASCII, RS-485 Modbus), 和電源連接. 模擬輸出線路板安裝在主板上方，提供 0 … 10V 或 4 … 20mA 輸出. 用戶可根據(jù)實(shí)際情況選配保護(hù)外殼.
Luxtron熒光光纖測(cè)溫儀m920系列主板解調(diào)來自 Fluoroptic® 探頭的測(cè)量信號(hào)并將校準(zhǔn)后的溫度報(bào)告給 OEM 控制系統(tǒng). 非金屬探頭通過堅(jiān)固的光纖與主板連接，可在惡劣環(huán)境下應(yīng)用.
向下兼容 LUXTRON m822 和 m600 系列模塊, Luxtron 熒光探頭
m920 OEM 系統(tǒng)適用于當(dāng)前所有的 Luxtron® 品牌的熒光探頭和光纖延長(zhǎng)線. Luxtron® 品牌擁有超過25年的經(jīng)驗(yàn)并在范圍內(nèi)安裝了上萬(wàn)套系統(tǒng)，是光纖溫度測(cè)量值得信賴的來源. 此外，m920 系列用戶界面命令與 m822 和 m600 系列 OEM 模塊基本相同.
典型應(yīng)用
等離子刻蝕機(jī)卡盤溫度監(jiān)控
Shower Head溫度監(jiān)控
真空腔體溫度監(jiān)控
其他晶圓設(shè)備溫度監(jiān)控
使用RF和等離子的半導(dǎo)體和FPD處理
Luxtron熒光光纖測(cè)溫儀技術(shù)參數(shù) | |
| 通道數(shù) | m922: 2 m924: 4 |
| 采樣率 | 每個(gè)通道高達(dá) 50 Hz |
| 溫度范圍 | -100 ... 330 °C (取決于探頭) |
| 精度 (取決于探頭) | ±0.05 °C |
| 溫度分辨率 | 0.01°C |
| 工作溫度 | -40 °C ... 85 °C |
| 模擬輸出 | 0-10 V or 4-20 mA |
| 串口通訊 | RS-232 and RS-485 |
| 協(xié)議 | ASCII 和 Modbus (RS-485) |
| 輸入電壓 | 額定+5 … 24VDC @ 100 mA |
| 尺寸 (主板) | 23.7 mm (H) x 100.6 mm (W) x 134.4 mm (L) |
| 選配件 | 用于電磁屏蔽的金屬外殼 |
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